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Brooks布魯克斯GF100質(zhì)量流量控制器應(yīng)用
點(diǎn)擊次數(shù):669 更新時(shí)間:2022-11-02

上海維特銳實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司是工廠、物流中心自動(dòng)化輸送線設(shè)計(jì)、制造、安裝調(diào)試的專業(yè)工程公司。公司位于中國(guó)經(jīng)濟(jì)中心上海,科研力量雄厚、機(jī)械制造業(yè)發(fā)達(dá)。經(jīng)多年的發(fā)展,公司不僅對(duì)傳統(tǒng)產(chǎn)品進(jìn)行不斷完善、革新,精致的零件加工,細(xì)節(jié)的關(guān)注,使我們的產(chǎn)品更安全、經(jīng)濟(jì)、穩(wěn)定、美觀,更加自動(dòng)化、人性化。


Brooks布魯克斯GF100質(zhì)量流量控制器應(yīng)用


GF100系列金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器*高純度氣路。超高精確,無(wú)污染的控制。


現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此,布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來(lái)滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性(無(wú)泄漏)的超高純度全金屬流路可確保過(guò)程化學(xué)品純度,該流路專為防止外部污染(如濕氣和氧氣)腐蝕過(guò)程媒介而設(shè)計(jì)。


應(yīng)用

硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP

化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD

精密的表面涂層

分析系統(tǒng)

真空處理應(yīng)用

適用于對(duì)濕度或氧氣敏感的過(guò)程

高純度流路可最大限度降低過(guò)程污染,提高產(chǎn)率

超快速響應(yīng)能力


參數(shù)

流體類型  氣體

流量范圍-滿量程容量  06 sccm - 300 slpm

精度   SP ±1%

最大壓力   150 psig

溫度   50℃

 

以上內(nèi)容由上海維特銳提供;詳情請(qǐng)點(diǎn)擊:Brooks布魯克斯GF100質(zhì)量流量控制器應(yīng)用

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